NEXTorr HV

NEXTorr® HV 泵是紧凑型高真空抽气解决方案，它将溅射离子泵 (SIP) 和非蒸散型吸气剂 (NEG) 泵集成到一个高效系统中。这种复合配置确保了卓越的抽速、高吸附容量和低重量，使其成为空间受限和性能至关重要的应用的理想选择。

每台泵都采用了专为高真空环境设计的 ZAO® (Zr-V-Ti-Al) NEG 合金，为所有活性气体（包括 H₂、O₂、CO、CO₂ 和 N₂）提供卓越的气体捕获能力。

注：

抽速值是指在真空室内完全暴露 NEG 元件（“裸露”配置）下的初始测量值，以确保最大的气体吸附性能。

H₂O 值为估算值，因为在所有环境条件下的精确校准非常复杂。

吸附容量值（H₂ 除外）基于约 200 °C 下的性能，支持标准高真空操作下的 20 次以上再生循环。在较低气量负载条件或室温 (RT) 使用下，泵可以重新激活 100 次或更多。

考虑到与吸气剂材料类似的相互作用，CO 抽气容量被认为与 CO₂ 相当。

• 超紧凑设计，重量轻，易于集成到高真空系统中。
• 对所有活性气体（包括氢气、氧气和氮气）具有持续的高抽速。
• 高效的惰性气体和甲烷抽气，支持恶劣环境下的挑战性混合气体。
• 即使在非烘烤或弹性体密封系统中也具有大吸附容量。
• 放气后具有快速抽空性能——无需烘烤。
• 非常适合 Viton 密封真空室和具有显著出气的装置。
• 约 200 °C 连续运行期间功耗低。
• 专为最小磁场干扰而设计，支持在敏感仪器附近使用。
• 集成压力指示功能，简化系统诊断。

• 增强高真空 (HV) 和超高真空 (UHV) 环境下的极限压力。
• 在粒子加速器、同步辐射源和光束线中至关重要。
• 应用于 SEM 和 TEM 电子显微镜，通过减少残余气体提高成像质量。
• 部署在便携式真空系统和现场部署仪器中。
• 用于需要稳定 HV/UHV 的表面科学和材料表征系统。
• 被信赖为半导体和薄膜沉积真空室的工艺泵。
• 是核聚变和能源研究中受控氢同位素抽吸、储存和释放的理想选择。