NEXTorr D/Z (UHV)

NEXTorr® UHV 泵是先进的 超高真空 (UHV) 抽气解决方案，将 溅射离子泵 (SIP) 和 非蒸散型吸气剂 (NEG) 泵 集成于 一个 紧凑、高性能的设备 中。这些复合泵旨在为 活性气体（尤其是氢气）提供卓越的抽速和容量， 同时保持 极小的体积 和 轻量化，是空间受限的 UHV 系统的理想选择。

目前提供两个基于 NEG 的系列，以满足不同的性能需求：

• NEXTorr® “D” 系列：采用 St 172 (Zr-V-Fe) NEG 合金，自 20 世纪 90 年代以来已在 UHV/XHV 环境中得到验证。

• NEXTorr® “Z” 系列：采用 新型 ZAO® (Zr-V-Ti-Al) NEG 合金设计，提供 增强的氢气抽速和容量，同时提高了吸气盘的坚固性，并降低了激活过程中的放气。

D 系列和 Z 系列的所有型号均配备高效 溅射离子泵，经优化可与 NEG 元件协同工作：

• CF35 / CF63 法兰型号：6 l/s (Ar) 和 15 l/s (CH₄)，提供 二极管 或 贵金属二极管 版本
• CF100 法兰型号：10 l/s (Ar) 和 32 l/s (CH₄)，采用 贵金属二极管配置

对于需要 增强对惰性气体和甲烷抽气性能 的系统， NEXTorr® D500-StarCell 和 D1000-StarCell 型号 集成了两个 高容量 NEG 吸气剂药筒（H₂ 抽速分别为 500 和 1000 l/s）以及一个 StarCell 离子泵，分别提供 21 l/s (Ar) 和 30 l/s (CH₄) 的抽速。

• 极其紧凑且重量轻，是空间有限系统的理想选择
• 对所有活性气体（包括 H₂、CO、CO₂、N₂、O₂）具有高且恒定的抽速
• 通过集成的离子泵对惰性气体和甲烷进行抽气
• 在 UHV 和 XHV 环境中具有持久的性能
• 标准运行期间功耗极低
• 磁干扰低，适用于敏感仪器
• 具备指示系统压力的能力
• 免维护设计，无运动部件或油污染

• 改善 UHV 和 XHV 系统中的极限真空
• 粒子加速器和同步辐射源
• 原子/离子阱系统、原子钟和干涉仪
• 扫描和透射电子显微镜 (SEM/TEM)
• 便携式超高真空仪器和真空箱
• 表面分析系统
• 工业和研究环境中的通用 UHV 设置