NEG 涂层

IntegraTorr® 是一项先进的解决方案，彻底改变了粒子加速器真空室内非蒸散型吸气剂 (NEG) 抽气的集成方式。该技术基于直接沉积在真空室内表面的溅射 NEG 涂层，有效地将整个表面转化为一个活性真空泵。

通过将通常的出气源转化为高性能真空泵，IntegraTorr® 确保了分布式抽气，减少了残余气体，并显著降低了由离子、电子或光子轰击引起的气体释放。这为基于真空的系统带来了更清洁的环境和更卓越的性能。

NEG 涂层技术最初由 CERN 为大型强子对撞机 (LHC) 开发，现在由 SAES 以 IntegraTorr® 品牌进行商业化推广，提供经过验证的可靠性和科学卓越性。

凭借在 NEG 涂层技术领域超过 20 年的经验，SAES 在涂层窄间隙插入器件、定制同步加速器和加速器室以及复杂真空结构领域处于行业领先地位。

此外，SAES-RIAL Vacuum 和 Strumenti Scientifici CINEL（SAES 旗下的两家专门从事机械真空组件和科学仪器的公司）提供完全集成的 NEG 涂层真空室。这些系统结合了制造、清洗、涂层、真空测试和最终交付方面的专业知识，确保在超高真空 (UHV) 和高真空 (HV) 环境中具有无与伦比的质量和性能。

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• 直接在窄小且流导受限的真空室内提供高且均匀的抽速，即使在复杂的几何结构中也能实现高效的气体去除。
• 简化的真空室设计，无需外部抽气副室，并减少了馈入件或端口的数量，有助于最大限度地减少泄漏和成本。
• 低温激活：NEG 涂层仅需在 180 °C 下烘烤 24 小时即可激活，使其能够兼容多种材料和结构。
• 大幅减少热和光子诱导的气体释放，从而在超高真空 (UHV) 系统中实现更快的真空恢复和更高的真空稳定性。
• 缩短系统调节时间并减少韧致辐射，这对于高精度实验和光束稳定性至关重要。
• 较低的二次电子产额 (SEY)，有助于抑制加速器光束管道中的电子云效应。
• 可进行多次空气暴露和再激活循环而不会退化，确保长期可靠性和延长使用寿命。

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• 粒子加速器：非常适合长直线段、弧段和储存环中的 UHV 抽气。
• 重离子环：高效的分布式抽气确保在高残余气体负载环境中的最佳性能。
• 同步辐射装置：增强光束线真空并减少辐射诱导的脱附。
• 插入器件：针对具有高抽气要求的窄间隙波荡器和扭摆器进行了优化。
• 光束线：为光束传输、分析室和诊断设备维持超净真空。