UHV Wafer Module

UHV Wafer Module 是一款无法兰非蒸散型吸气剂 (NEG) 泵，专为需要高氢气 (H₂) 吸附容量及所有主要活性气体（包括水蒸气 (H₂O)、氧气 (O₂)、氮气 (N₂)、一氧化碳 (CO) 和二氧化碳 (CO₂)）的分布式抽气及超高真空 (UHV) 应用而设计。

UHV Wafer Module 采用 UHV 级 ZAO® NEG 合金制成的吸气剂盘，即使在受流导限制的系统中（传统法兰安装式泵可能效果较差）也能确保卓越的抽速和寿命性能。这使其非常适合集成在真空室内部，因为此类空间受限且局部气载需要分布式抽气解决方案。

多个 UHV Wafer Modules 可以通过串联或并联电气连接同时运行。SAES 提供技术支持，协助为每个特定安装确定最佳的电气配置和激活参数。

• 对所有活性气体具有高抽速，包括 H₂、H₂O、O₂、N₂、CO 和 CO₂
• 极佳的吸附容量和延长的运行寿命，适用于 UHV 和 XHV 系统
• 在超高真空 (UHV) 和极高真空 (XHV) 环境中具有持续且稳定的抽气性能
• 完全兼容强磁场，确保系统集成的灵活性
• 无油且无振动运行，是污染敏感型应用的理想选择
• 轻量化且紧凑的设计，便于安装在受流导限制的系统中

• 与离子泵、扩散泵、低温泵或涡轮分子泵结合使用，增强极限真空
• 集成在需要稳定超高真空性能的表面分析系统中
• 用于粒子加速器、同步辐射源及相关的光束线设备
• 是便携式真空仪表的理想选择，具有低功耗和紧凑的尺寸
• 适用于在 UHV 条件下运行的电子显微镜（SEM 和 TEM）