HV Module

HV Module 是一款紧凑型、无法兰的非蒸散型吸气剂 (NEG) 泵解决方案， 旨在为高真空系统提供高性能。它专为处理 氢气 (H₂) 以及水蒸气 (H₂O)、氧气 (O₂)、氮气 (N₂)、一氧化碳 (CO) 和二氧化碳 (CO₂) 等其他 活性气体的分布式抽速和容量而设计，非常适合在 10⁻⁹ 至 10⁻⁷ Torr 的压力下需要 清洁、无油真空性能的环境。

每个模块都集成了采用先进 ZAO® 合金 (Zr-V-Ti-Al) 制造的 NEG 盘， 该合金专门针对高真空状态进行了优化。得益于 ZAO NEG 技术的灵活性和效率，HV Module 能够在 真空室内实现分布式抽气，从而最大限度地提高表面积利用率， 并确保低放气和最小占用空间。

可以通过串联或并联电气连接同时操作多个 HV Module， 从而提供模块化和可扩展性。SAES 团队提供 技术支持和配置指导，以确保互连模块在 研究实验室、粒子加速器或真空镀膜系统中的最佳安装和电气性能。

• 对所有活性气体（包括 H₂、H₂O、O₂、N₂、CO 和 CO₂）具有高抽速
• 具有大吸附容量，可延长运行寿命
• 在高真空 (HV)、超高真空 (UHV) 和极高真空 (XHV) 条件下具有一致的 NEG 抽气性能
• 可逆氢气抽除能力，包括氢同位素
• 在强磁场中运行稳定，是加速器和显微镜环境集成的理想选择
• 适用于超洁净真空系统的完全无油且无振动的解决方案
• 轻便且模块化，易于安装在紧凑型真空室中
• 即使在放气至大气压后也能快速抽真空，无需烘烤
• 耐泄漏 NEG 设计，适用于有中度空气进入的系统
• 完全兼容 Viton® 密封真空系统

• 与离子泵、低温泵、扩散泵或涡轮分子泵结合使用，可增强极限真空性能
• 集成到 表面分析系统 中，如 XPS、AES 和 SIMS
• 同步辐射装置、粒子加速器和光束线的真空环境
• 用于半导体和镀膜技术的 沉积室 和 工艺泵
• 用于研究和工业应用的 薄膜沉积 设备
• 便携式真空仪表 和移动分析工具
• 氢同位素管理：抽吸、存储和受控释放
• 去除 惰性气体填充真空器件 中的 残余杂质

在我们的“解决方案”页面上了解更多关于我们全系列 NEG 解决方案的信息。