CapaciTorr HV

CapaciTorr® HV NEG 泵配备了 ZAO® 吸气剂合金，这是一种专为高真空应用设计的高性能非蒸散型吸气剂 (NEG) 材料。这种先进的合金即使在低至 10⁻⁷ Torr 的压力水平下也能确保有效的气体吸附，使 CapaciTorr HV 泵成为需要超洁净真空环境的理想选择。

CapaciTorr® HV 系列的主要优势：

• 对所有活性气体的最大吸附容量
• 在低真空水平（例如 10⁻² Torr）下的早期激活能力
• 在约 200 °C 下运行时具有一致的高真空性能

所有型号均配备易于更换的 NEG 盒，确保高真空和 超高真空系统的长期可维护性和最佳运行。

关于抽气性能和气体吸附的说明：

抽速值是指在标准测试条件下直接在 NEG 泵入口处测得的初始性能。

报告的气体容量值（氢气除外）表示在约 200 °C 下每个吸附周期建议的吸附量。在这种条件下，CapaciTorr® HV 泵可以执行 20 次以上的有效气体吸附周期。

在气体吞吐量较低或在室温下的应用中，泵可以重新激活 100 次以上，在高真空环境中保持高性能。

H₂O 吸附值基于内部估算。

(*) CO 吸附的值可以认为与报告的 CO₂ 值相当。

• 紧凑轻巧的设计，是空间受限真空系统的理想选择
• 高抽速，适用于所有活性气体，包括 H₂、CO、CO₂ 和 N₂
• 卓越的吸附容量和延长的使用寿命
• 在超高真空 (UHV) 和极高真空 (XHV) 范围内保持稳定的性能
• 无油且无振动的运行，确保无污染环境
• 磁场兼容性：在高磁通密度下有效运行
• 氢气和同位素抽吸：可逆且稳定的性能
• 放气后快速抽真空，即使不烘烤也是如此
• 对大规模漏气的弹性，最大限度地减少停机时间
• 适用于氟橡胶 (Viton) 密封的高真空系统

• 与离子泵、涡轮分子泵、低温泵或扩散泵结合使用以优化 UHV
• 粒子加速器、同步辐射光束线及相关科学仪器
• 扫描电子显微镜 (SEM) 和透射电子显微镜 (TEM)
• 便携式真空设备和野外作业仪器
• 表面科学分析系统（如 XPS, AES, TOF）
• 用于薄膜生产的真空处理和沉积室
• 聚变研究和量子技术中的氢同位素处理
• 惰性气体系统（如氖、氩检测器）中的杂质去除